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工商時報【涂志豪╱台北報導】

全球最大微影設備廠荷商艾司摩爾(ASML)昨(16)日宣布併購電子束檢測廠漢微科(3658),將可強化ASML的YieldStar檢測設備技術強度,並建構完整
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的微影平台,讓下一世代極紫外光(EUV)微影技術更快進入量產階段。

而隨著英特爾、台積電、三星等大廠將在7/5奈米世代採用EUV技術,除了電子束檢測可望成為市場主流,對材料、故障、可靠度分析等需求亦將同步大增,宜特(3289)及閎康(3587)等檢測分析廠可望直接受惠。

ASML在浸潤式(immersion)微影設備市場擁有極高市占率,加上搭配ASML光學檢測YieldStar產品線,已成功支援半導體廠製程微縮至先進的14/16奈米鰭式場效電晶體(FinFET)技術。為了有效降低光罩曝光的成本,ASML與英特爾、台積電、三星等業者合作,力推EUV成為下一代微影技術主流。

為了加快EUV進入量產時程,ASML決定收購國內電子束檢測設備廠漢微科,讓旗下YieldStar光學檢測產品線能與漢微科的電子束檢測整合,建立更完整的微影平台。

隨著ASML建構完整EUV微影平台,包括台積電、英特爾、三星等半導體大廠,也各自建立自己的EUV生態系統,若半導體製程順利依循摩爾定律推進,EUV可望開始應用在7奈米或5奈米製程。只是7或5奈米製程所採用的半導體
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化銦鎵(InGaAs)及磷化銦(InP)等三五族半導體材料
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可望成為主流,這也將帶動檢測分析廠宜特及閎康的接單。


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由於台積電、三星等晶圓代工廠去年下半年14/16奈米放量投片,宜特及閎康直接受惠,去年第4季以來包括材料、可靠性等檢測分析開案量明顯轉強,推升今年第1季營收及獲利表現優於市場預期。而台積電及三星也開始展開EUV製程的試產,宜特


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