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工商時報【涂志豪╱台北報導】
全球最大微影設備廠荷商艾司摩爾（ASML）昨（16）日宣布併購電子束檢測廠漢微科（3658），將可強化ASML的YieldStar檢測設備技術強度，並建構完整
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的微影平台，讓下一世代極紫外光（EUV）微影技術更快進入量產階段。
而隨著英特爾、台積電、三星等大廠將在7/5奈米世代採用EUV技術，除了電子束檢測可望成為市場主流，對材料、故障、可靠度分析等需求亦將同步大增，宜特（3289）及閎康（3587）等檢測分析廠可望直接受惠。
ASML在浸潤式（immersion）微影設備市場擁有極高市占率，加上搭配ASML光學檢測YieldStar產品線，已成功支援半導體廠製程微縮至先進的14/16奈米鰭式場效電晶體（FinFET）技術。為了有效降低光罩曝光的成本，ASML與英特爾、台積電、三星等業者合作，力推EUV成為下一代微影技術主流。
為了加快EUV進入量產時程，ASML決定收購國內電子束檢測設備廠漢微科，讓旗下YieldStar光學檢測產品線能與漢微科的電子束檢測整合，建立更完整的微影平台。
隨著ASML建構完整EUV微影平台，包括台積電、英特爾、三星等半導體大廠，也各自建立自己的EUV生態系統，若半導體製程順利依循摩爾定律推進，EUV可望開始應用在7奈米或5奈米製程。只是7或5奈米製程所採用的半導體
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化銦鎵（InGaAs）及磷化銦（InP）等三五族半導體材料
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可望成為主流，這也將帶動檢測分析廠宜特及閎康的接單。
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由於台積電、三星等晶圓代工廠去年下半年14/16奈米放量投片，宜特及閎康直接受惠，去年第4季以來包括材料、可靠性等檢測分析開案量明顯轉強，推升今年第1季營收及獲利表現優於市場預期。而台積電及三星也開始展開EUV製程的試產，宜特
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